Wynik wyszukiwania
Zapytanie: MICROSYSTEMS ENGINEERING
Liczba odnalezionych rekordów: 1



Przejście do opcji zmiany formatu | Wyświetlenie wyników w wersji do druku | Pobranie pliku do edytora | Przesłanie wyników do modułu analizy | excel | Nowe wyszukiwanie
1/1
Nr opisu: 0000018840
Integrated optomechanical sensor for in situ characterization of MEMS. The implementing of a readout architecture.
[Aut.]: Ch. Gorecki, A. Sabac, P. Bey, Kazimierz Gut, A. Jacobelli, T. Dean.
W: Microsystems engineering. Metrology and inspection III. [Conference]. Munich, Germany, 23-25 June 2003. Ed. Christophe Gorecki. Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2003, s. 189-195 (Proceedings of SPIE ; vol. 5145 0277-786X)

stosując format:
Nowe wyszukiwanie