Wynik wyszukiwania
Zapytanie: GÓRECKI C
Liczba odnalezionych rekordów: 1



Przejście do opcji zmiany formatu | Wyświetlenie wyników w wersji do druku | Pobranie pliku do edytora | Przesłanie wyników do modułu analizy | excel | Nowe wyszukiwanie
1/1
Nr opisu: 0000112046   
A 2-axis electrothermal MEMS micro-scanner with torsional beam.
[Aut.]: Q. Tanguy, C. Duan, W. Wang, H. Xie, S. Bargiel, Przemysław Struk, P. Lutz, C. Górecki.
W: 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics. OMN 2016, 31 July - 04 August 2016, Singapore. Proceedings. Piscataway : IEEE Computer Society, 2016, s. 1-2, bibliogr. 5 poz.

MOEMS mikro interferometr Mirau ; elektrotermiczne mikro-zwierciadło ; belka skrętna ; optyczna tomografia koherentna ; suche laminowanie fotorezystem

MOEMS Mirau micro-interferometer ; electrothermal micromirror ; torsion beam ; optical coherence tomography ; dry photoresist lamination

stosując format:
Nowe wyszukiwanie