Wynik wyszukiwania
Zapytanie: MEUNIER C
Liczba odnalezionych rekordów: 1



Przejście do opcji zmiany formatu | Wyświetlenie wyników w wersji do druku | Pobranie pliku do edytora | Przesłanie wyników do modułu analizy | excel | Nowe wyszukiwanie
1/1
Nr opisu: 0000039997
Tytuł oryginału: Technology and performances of silicon oxynitride waveguides for optomechanical sensors fabricated by plasma-enhanced chemical vapour deposition
Autorzy: A. Sabac, C. Gorecki, M. Jóźwik, L. Nieradko, C. Meunier, Kazimierz Gut.
Źródło: -J. Eur. Opt. Soc., Rapid Publ. 2007 vol. 2, s. 07025/1 - 07025/8
p-ISSN: 1990-2573
e-ISSN: 1990-2573
DOI:
Słowa kluczowe polskie: optyka zintegrowana ; system mikroelektromechaniczny ; MEMS ; falowód ; czujnik optomechniczny ; chemiczne osadzanie z fazy gazowej
Słowa kluczowe angielskie: integrated optics ; microelectromechanical system ; MEMS ; waveguide ; optomechanical sensor ; chemical vapour deposition
Typ publikacji: A
Język publikacji: ENG
Zasieg terytorialny: Z
Afiliacja: praca afiliowana w PŚl.
Dostęp on-line:


stosując format:
Nowe wyszukiwanie